ファーウェイ、ウェーハの位置合わせと効率を向上させる特許を申請、自社製造工場を示唆

ファーウェイは自社製造工場の建設については沈黙を保っており、これにより米国からのさらなる貿易制限は回避される可能性が高い。しかし、最近の特許出願は、元中国の巨大企業が外国企業への依存を減らすためにさらなる努力をしている証拠を示している。 。特許出願日は2022年6月で、ウェーハのアライメントと効率を改善するプロセスが記載されている。この文書のタイトルは「ウェーハ処理装置とウェーハ処理方法」で、ファーウェイがチップ工場の建設を望んでいることを示すいくつかの証拠が示されており、これはファーウェイがSMICからも排除したいと考えている可能性があることを意味している。

ファーウェイは自社の製造工場の建設に関与していると報じられており、同社は国内の3つの拠点の拡張に積極的に参加していると言われている。ファーウェイは金華集積回路（JHICC）と青島貴族（サプライ）から製造施設を買収したと言われている。同社はまた、Pengxinwei (PXW) と Shenzhen Pengsheng Technology (PST) が運営する生産施設の設立も支援しているが、両社は現在、米国の貿易制裁により先進的なウェーハ製造装置の入手が困難に直面している。

TrendForceは、この特許はファーウェイが自給自足の段階に進んでいることを意味する可能性があると報じているが、同社とSMICとの関係がどのように維持されるかについては言及していない。以下では、ウェーハの特許と、そのプロセスによってアライメントと効率がどのように改善されるかについて説明します。

「特許要約には、ウェーハ処理のための装置および方法に関連する実施形態の開示が示されている。ウェハ処理装置は、回転軸に沿って回転するウェハステージ、ウェハを取り扱い、ウェハステージ上に配置するためのロボットハンドを備えた機械アーム、コントローラ、および校正コンポーネントを備える。

校正コンポーネントには、ウェーハ ステージに対して固定された格子プレートが含まれています。光源は格子プレートに対して固定されている。撮像素子は、機械アームに固定的に設けられ、光源から発せられ格子板を透過した光を受光する。ここで、コントローラは、撮像素子による受光の検出に基づいて、機械アームまたは機械アーム上の調整装置を制御してウエハの位置を調整するように構成される。

ここで、ウエハステージがウエハを搬送するとき、格子板および撮像素子はウエハステージの上面が位置するテーブルの反対側にそれぞれ位置し、上面はウエハを搬送するために使用される。本開示の実施形態によって提供される装置および方法は、ウェハのアライメント効率およびアライメント精度を向上させることができる。」

これまでのところ、Huawei と SMIC はノートブックに電力を供給する 5nm チップを製造したと考えられています。これは、7nm の壁が克服されたことを示す前向きな兆候です。交差した。しかし、SMICはウェーハを生産するたびに数十億ではないにしても数百万ドルの損失が出る可能性が高いため、中国政府から補助金を受けている。しかし、HuaweiがKirin 9000Sを発注した際に、その節約分をHuaweiに渡したかどうかは不明である。ファーウェイが自社の工場でウェーハ生産用の高度な機械をどのように調達するかについては、また別の機会に議論しますが、何かあれば随時読者に最新情報を提供していきますので、楽しみにしていてください。

ニュース ソース: TrendForce